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自動光譜橢偏儀SENDURO®所有的全自動光譜橢偏免除了用戶根據(jù)高度和傾斜度手動地對準樣品的麻煩，這對于高精度和可重復(fù)的光譜橢偏是必要的。
紅外光譜橢偏儀SENDIRA利用紅外光譜中分子振動模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測量。
